氦质谱检漏仪

基本信息

生产厂家：美国Edwards公司

技术指标

测量精度：最小检测漏率1×10-12 × Pa•m3/s

应用范围

检测有气密性要求的光电器件的泄漏率

备 注

氦质谱检漏主要采用压力检验法，首先将样品放置在10-20kg压力的高纯氦气气氛中压氦，如果样品存在泄漏，氦原子将渗透到样品中。经过压氦后，样品立即被放置到氦质谱仪中进行泄漏检测，即可检测出相应的泄漏率。

检漏标准为GJB54A－96，采用方法1014A


主要附件：

测试需求：200～240 V，13.0 A，50/60 Hz，单相