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三维云纹干涉仪
技术指标
最小分辨率：10 nm
应用范围
光电器件微纳应变三维变形，主要用于晶元级材料在不同的温度、加载速率、以及不同气体加工条件下的应力－应变特性在线研究。
备 注
设备编号：G5-01-OM-11
最小分辨率：10 nm
光电器件微纳应变三维变形，主要用于晶元级材料在不同的温度、加载速率、以及不同气体加工条件下的应力－应变特性在线研究。
设备编号：G5-01-OM-11