快速退火炉

基本信息

设备型号：RTA-1000
生产厂家：韩国ECOPIA公司

技术指标

加热方式：采用PG/PBN静电加热器加热；
电传导陶瓷：热解石墨(Pyrolytic Graphite, PG)；
电绝缘陶瓷：热解氮化硼(Pyrolytic Boron Nitride, PBN)；
升温速率：1000 ?C/40秒；
冷却速率: 30秒内由1000 ?C降到500 ?C, 从高温到低温全程可用氮气吹扫降温.
温度范围：室温—1100 ?C (真空环境，或惰性气体环境)，400 ?C (大气环境，400 ?C后稳定吸收)；
温度控制器：温度可以程序编辑，自动控制；
温度控制分辨率：0.1?C；
工作环境：真空、惰性气体保护、大气；
石英视窗：耐高温，透明，随时观察样品退火情况；
真空系统与真空腔性能：可达到5x10^-3 Torr水平；
样品尺寸：1 ~ 4英寸直径（样品最大厚度1cm）；
样品放置方式：平放；
 
 电学指标：
3000瓦，220伏，约24安培；