点分辨率:0.19 nm;线分辨率:0.14 nm
加速电压:20, 40, 80, 120, 160 & 200 kV, 并可连续调节;加速电压稳定度≤1.0 ppm/10分钟;
放大倍数:25x – 1000 kx;相机长度:45 - 4500 mm;放大倍数和相机长度准确度:均<5%
最小束斑尺寸:1.5nm (LaB6),3 nm(W)。Microprobe/Nanoprobe两种主要照明模式,共22种束斑尺寸。
最大衍射角:32°;最大会聚角:100 mrad
样品台最大样品倾角:X方向 ±22°;Y方向±15°
样品台:X、Y、Z方向移动:
5轴CompuStage样品台, 可存储和复位5维(x, y, z, a, b)坐标。 XYZ方向机械重复精度£500nm;漂移£1nm/分钟。
XY方向移动:总行程± 1 mm,最小移动步长< 4 nm。
Z方向移动:总行程± 0.375 mm,最小移动步长≤36 nm。
真空系统:离子泵 + 油扩散泵 + 机械泵真空系统, 样品区极限真空<1.0x10-5Pa;
换样时间:<1分钟,并且更换灯丝或底片不需要退灯丝及高压;
照相方式:一体化CCD相机,
动态范围 28000:1(16bit)
CCD象素 2k ×2k
CCD接受面积 61.2× 61.2 mm2
CCD象素尺寸 30 × 30 µm2
半导体冷却 具有(-25 ºC)
CCD与胶片的放大倍数 1.3-1.5倍
CCD读取方式 直接读取
读出速度 2.5 Mpix/s
读取时间 2.5 sec/full frame
闪烁器 高分辨型
安装位置 底装式
Binning功能 1?, 2?, 4?
能谱仪:探头分辨率:136 eV,分辨元素范围:B5 - U92,峰背比18,000:1,固体角:0.13srad,取出角:20°。