300kV电子束球差校正透射电子显微镜
仪器介绍
透射电镜是材料科学和生物科学中十分重要的分析工具。现代材料科学的研究已经进入纳米时代，对材料微观结构进行原子尺度的研究需要更加强大的工具来实现。透射电子显微镜是纳米时代的基本工具，可以进行样品的形貌分析、结构分析和成分分析。高分辨透射电镜的分辨率一般可以达到2 Å，经过多年的发展，简单通过提高加速电压来提高分辨率遇到了技术上的瓶颈，很难再有突破。球差校正技术的诞生提供了突破1 Å分辨率的途径，Titan就是在这个情况下应运而生，作为专门为校正电镜平台设计的新一代透射电镜，实现了在60-300kV范围内与球差校正技术的完美结合。技术上的突破使得材料科学家们可以轻松的得到以前无法直接观察到的信息，服务于特别功能的纳米材料与器件的设计。
基本信息
- 设备型号：Titan G2 60-300
生产厂家：美国FEI公司
单价(元)：$3,500,000
技术指标
TEM点分辨率 2.05 Å （透射电镜模式，不校正情况）
STEM分辨率 1.36 Å（扫描透射电镜模式，不校正情况）
STEM分辨率 0.8 Å （扫描透射电镜模式，校正情况）
信息分辨率 ≤1 Å
电子枪能量分辨率 ≤ 0.8 eV（300kV）
最大会聚角 100 mrad
最大衍射角 ±13°
HRTEM和HRSTEM之间切换后稳定时间 无延时
加速电压 60-300kV，加速电压全程范围内切换仅需通过软件完成
加速电压范围 最高电压与最低电压比 ≥5
电镜参数的设置和可存储数目（镜筒参数/电子枪参数） 无限多个/无限多个
改变电子枪参数所需时间 几秒钟
用户界面 用户可根据自己的应用要求和喜好编辑用户界面，分为三个等级
真空系统 四个离子泵+涡轮分子泵 + 扩散泵 + 机械泵真空系统
样品区极限真空<1.0x10-5Pa.
换样时间 典型30秒；换样品或底片不需要退灯丝及高压。
极靴间歇 >
样品台：最大样品倾角 x方向±40°，y方向±30°
三维重构 可以进行三维重构工作，专用样品杆最大倾角±70°
样品台轴行程 X/Y: ±
样品台移动最小步长 X/Y方向<4 nm；?方向?0.04°
样品台回复精度 XYZ方向机械重复精度?300 nm；?方向?0.5°
样品台漂移 < 0.5nm/min
放大倍数和相机长度准确度 均<5％，
照像方式 一体化Gatan US4000 CCD相机
能谱仪 一体化能谱仪，分辨率136eV；面积
EFTEM 一体化最新一代Gatan Quantam系统。
STEM +CCD同时采集数据 可以
STEM+EFTEM+ CCD同时采集数据 可以
STEM+PEELS同时采集数据 可以
STEM+PEELS+EDX同时采集数据 可以,
样品安装加热台 1300 ?C
样品安装冷却台，低于-175 ?C（液氮），低于-20 ?C（液氦）
应用范围
TEM可以对材料形态、晶体结构、化学成分、界面结构、表面以及缺陷进行研究。纳米技术的兴起，材料研究越来越向微小尺度发展，TEM可以提供亚纳米级别的分辨能力，此仪器是探索决定物质表观特性微观本质的强有力工具。配置一体化能谱仪后，可进行样品成分分析。应用领域为材料学、半导体、物理学、电子学和生物医学等各种学科，主要有大学、科研院所、钢铁企业和高科技产品研发中心等。
能 力
TitanTM透射电镜是FEI公司最新型的、专门为校正电镜平台设计的世界上最先进的扫描/透射电子显微镜（S/TEM），使得校正器和单色器技术进入主流纳米技术研究和工业市场，具有的超高分辨率超越了以往所有商用透射电镜的世界纪录。技术先进、操作简单、升级方便。2005年第一代TitanTM 80-300发布，取得了巨大成功；2009年FEI公司最新发布第二代Titan G2 60-300透射电镜，又一次突破了高分辨透射电镜的新纪录。
技术特点：
世界上分辨率最高的透射电镜，HR-STEM分辨率小于0.8Å
世界上唯一的300kV Cs球差校正透射电镜
世界上唯一能够同时实现亚埃分辨率以及分析型极靴(S-TWIN)的透射电镜
世界上唯一能够在60kV到300kV范围内工作的球差校正TEM
完全一体化设计，技术先进，操作简单