轮廓仪

基本信息

设备型号：120mm PGI
生产厂家：美国Taylor Hobson公司

技术指标

立柱行程：450mm

测针行程：120mm

最大矢高：25mm（150mm测杆）

分辨率：12.8nm/10mm（60mm测杆）

参数测量精度：2%±4nm（60mm测杆）

 

精确性：PV值变化范围＜0.01λ

RMS值变化范围＜0.002λ

重复性：PV值标准偏差＜0.02λ

RMS值标准偏差＜0.004λ

应用范围

可以测量零件的轮廓面形和粗糙度，还可以根据测量结果计算零件的面形误差。

配合专用分析软件，生成加工补偿程序，反馈控制数控车床对光学零件的加工，从而使加工过程形成闭环，提高光学零件的加工精度。

备 注

设备编号：G5-04-04